螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员。它出现在1990年左右，发展相对较晚。然而，螺杆真空泵作为一种理想的干泵，自螺杆真空泵厂家生产问世以来发展迅速。

螺杆真空泵一般为双螺杆结构。螺杆真空泵是通过一对不对称的螺杆转子在泵腔内同步、反向工作，并周期性改变齿间容积的一种吸排气设备。

其主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封件等，螺杆转子经过精细动平衡校正后，由轴承支撑安装在泵腔内。保持螺钉之间的严格间隙。泵工作时，两者无摩擦，运转平稳，噪音低，腔内无需润滑油。因此，螺杆真空泵在含有大量蒸汽和少量粉尘的情况下可以抽出气体。具有极限真空度高、功耗低、节能、免维护等优点。

螺杆真空泵的结构比较简单。在形式上，螺杆真空泵可分为卧式和立式；根据螺杆转子形状的不同，可分为单头螺杆真空泵和多头螺杆真空泵；根据转子螺距的不同，单头螺杆真空泵可分为等螺距螺杆真空泵和变螺距螺杆真空泵。

可变音高又可细分为初级型、二级型、三级型等。