真空机组为罗茨真空泵和前级泵串联组成的罗茨真空机组。一般真空极限可达2PA～0.02PA。启动罗茨真空机组的方法是将机组与抽气容器相连，打开罗茨真空机组的冷却水，打开前置泵，然后慢慢打开主阀。此时，罗茨泵开始跟随。当容器真空被抽到 1000-500 PA 时，打开罗茨泵，直到达到所需的真空。

真空机组在使用过程中，其主要作用是提高真空系统的真空度和高真空环境下的系统抽速。 由于罗茨泵工作过程中没有气体压缩，当罗茨泵直接排放大气时，吸入口和排气口之间的压差会过大，导致真空泵过载，如果单纯 增加真空泵电机的功率会导致真空泵过热，使真空泵转子之间的小间隙很快因热膨胀而被卡住。

真空机组运行时，声音响应均匀，无杂音和不规则的异常振动。注意电机负载和泵部件的温升。正常情况下，罗茨真空泵最高温升不超过40℃，最高工作温度不超过80℃。

为了保证真空机组能够达到高真空，必须保证真空泵转子之间的间隙。 因此，在使用真空泵时，必须配备前级泵。 当前级泵将系统内压力抽到一定范围后，即可启动真空泵，避免真空泵过载。 前级泵可以是螺杆真空泵、旋片真空泵、涡旋真空泵等可直接排气的真空泵。

运行中如出现漏油现象，应立即停止工作，卸压后进行检查维修。发现漏油后，罗茨真空泵不得带压继续工作或维修。运行时确保循环冷却水的进出水口正常。

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